产业气体管道

气体管道工程排管

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气体管道工程可以分为许多种气体:
(1)易燃性气体
把自燃、易燃、可燃气体等都界说为这类气体。如常温下的SiH4气体只需与氛围打仗就会熄灭,当情况温度到达肯定时,PH3与B2 H6等气体也会发生自燃。可燃易燃气体都有肯定的着火熄灭爆炸范畴,即下限、上限值。此范畴越大的气体起爆炸熄灭伤害性就越高,如B 2H6的爆炸下限为98%,爆炸上限为0.9%。属于易燃气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中利用的气体许多都是对人体无害、有毒的。此中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性***大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)辨别只要50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在事情情况中的容许浓度极微,因而在储存、保送以及利用的历程中都要求分外的警惕。一样平常都应该接纳特定的技能步伐来控制利用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
(3)腐化性气体(Corrosive Gas):这些腐化性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐化性气体在枯燥形态下一样平常不易腐蚀金属,但在遇到水的情况下就表现出很强的腐化性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体自己一样平常不会间接对人体发生损伤,在气体传输历程中,绝对于宁静上的要求不如以上其他气体严厉。但惰性气体具有窒息特征,在密闭空间若产生走漏会使人窒息而形成工伤变乱。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一样平常同时具有其他特征,如毒性或腐化性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。


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