高纯气体管道工程

氧气、氮气、氩气、氢气、乙炔、丙烷等产业气

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氧气、氮气、氩气、氢气、乙炔、丙烷等产业气体压力管道安置、设计。

一、预制事情(在浅易干净室)在现场的焊接事情降至最低量是必须的。配管区必需在有干净气的地方,在事情时维持电扇正常运转,于早、中、晚用O2检视器反省O2的浓度。1、 点焊点焊利用TIG焊接,点焊的点数依照下列划定。CAJON的焊机必须包管管子的确结实,从完成的看法来看,最好不要利用手动的TIG焊接,因而点焊被省略;

2、冲吹气体(Back seal gas)利用氩气,露点-80℃或更低,氧含量在0.1ppm以下,微粒(0.1um以上)含量为零。

3、冲吹用管套毗连冲吹气体管路与架设管路

4、预制步伐将事情管路两头套上管套,毗连冲吹气体及阀氩气冲吹(事后冲吹1分钟以上)点焊,氩气冲吹,焊接(主动焊接),氩气冲吹风(扫尾冲吹1分钟以上)

5、装封完成焊接之后,在管内充溢Ar气,并且用干净的塑料纸在末了包裹两层。假如末了的阀曾经毗连好了,把阀也用塑料纸裹起来。

二、现场事情划定1、携入质料必需置于特定的贮藏间,在工地现场或在质料间要提供临时性的浅易干净室,一切质料要寄存划一。在寄存质料时,有电子抛光的管件必需和未经电子抛光的管件离开。在尚未利用管件之前都不要将塑料封套翻开直到现埸要利用时方可翻开,而且不要将质料间接放在地上。

2、切管切管时,利用的主动切割机或手动切管器必需是专门为半导体厂事情所设计的。切管器的刀片与管件成垂直偏向,当利用主动切割机时,放刀片的深度要能使管壁另有薄薄的一层未堵截,藉以避免切割时的碎屑进入管内。

3、倒角准绳上,在利用倒角机 ( TUBE SIZE用) 或锉刀 ( PIPE SIZE用) 时,警惕地移开切割面。假如切割面倾斜未成垂直,焊口紧驰或管子弯曲等情况产生时,这种管路是分歧划定,必需重新切割及设置装备摆设。当倒角时,在管的另一端必需用朴直净度的氮气冲吹(氮气要经0.02um的过滤器过滤)。

4、N2吹扫将管内的微粒冲吹出来。

5、现场焊接现埸焊接的职员必需颠末朴直净度配管技能培训。即便焊接完毕,也要维持小量的N2或Ar在管内冲吹以避免氛围流入管内。无论怎样也要想措施把管内的氛围及微粒赶出来。

6、焊机电源供应电源的电压的变化,关于管路焊接的品格影响甚巨。利用主动焊接机的电源必须利用特定的整流器。允许的电压动摇AC 100V±10%,AC 200V±10%,在焊接举行时电压警报器不停监督着电压,假如电压凌驾可允许的范畴时,警报器就会收回声响。

7、事情后的干净检视切割机的干净度,坚持机具不受油污,假如仍旧看得见有油污或切割的碎屑剩余,用GN2冲吹。利用的N2必需经-80℃或更低的露点,经0.02um的过滤器枯燥,用肉眼反省没有任何的水汽。
 

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